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PROCOM
PROCOM : Applications
PROCOM 소프트웨어의 일반적인 목적은 MOCVD reactor 시뮬레이터이며 reactor geometry/design의 종류에 제한을 두지 않으며 증착 공정에 있어 많은
chemical species를 포함하고 있습니다.
PROCOM : Physical Models and Advanced Features
MOCVD reactor의 임의의 2차원 단면 또는 완전한 3D 구조에 대해 Finite Element Method(FEM)은 물리·화학적 공정을 제어하여 많은 불완전한 미분 방정식을 풉니다.
• Chemical kinetics models.
• Mass transport/conservation equations.
• Navier-Stokes fluid dynamic equations.
• Heat transfer equation.
• Complete chemical species library.
• Transient and steady state simulations.
Evaluation
LASTIP : Capabilities
편리한 Graphic User Interface(GUI)는 setup, MOCVD 증착 파라미터 입력 및
시뮬레이션 결과를 보는 것을 이용될 수 있습니다.
• Chemical species distribution in 2/3D may be produced for both gas and surface
species.
• Gas chemical reaction rates distribution in 2/3D.
• Flow velocity distribution in 2/3D.
• Temperature distribution in 2D/3D.
• Film deposition rate as a function in the 2/3D model.
• Deposition rate as a function of temperature in the quick analysis of 1 level
(well-mixed model).
• Film composition as a function of position (Uniformity analysis).
• Dopant and/or other impurities distribution.
이 프로그램의 평가 버전을 사용을 원하시는 분들은 당사로
연락을 주시기 바랍니다.
